上一節(jié)我們提出了山東省智能傳感器產業(yè)發(fā)展的總體思路、產業(yè)布局；本章將聚焦產業(yè)鏈條完善、強化關鍵支撐、開展應用示范、提升服務能力和培育骨干企業(yè)提出13條整點任務建議，為全省全面提升智能傳感器產業(yè)核心競爭力，推動全省新一代信息技術產業(yè)高質量發(fā)展，培育壯大現代產業(yè)體系提供政策參考。

　　一、提升設計、制造、封測能力，推進智能傳感器向高端升級

　　一是推進智能傳感器芯片設計。加強對智能傳感器核心芯片，特別是基于MEMS工藝的芯片、ASIC芯片以及應用配套的算法和驅動程序等技術的自主研發(fā)，強化前沿技術戰(zhàn)略布局。鼓勵龍頭企業(yè)加大芯片方面的研發(fā)投入及力度，有效打破技術壁壘，增強企業(yè)核心競爭力，提升智能傳感器芯片國產化率。

　　二是推進智能傳感器芯片制造。在符合國家集成電路政策要求下，重點推進智能傳感器芯片生產制造，滿足市場需求的快速增長。圍繞智能制造、智慧交通、精準農業(yè)、高端醫(yī)療等場景，布局相關智能傳感器的生產制造。重點發(fā)展特色工藝，補齊產業(yè)短板，著力突破微機電系統與互補金屬氧化物半導體集成、硅基微機電系統加工技術、非硅模塊化集成、砷化鎵基激光傳感芯片等工藝技術，持續(xù)提升工藝的一致性、穩(wěn)定性。

　　三是推進智能傳感器封裝測試。持續(xù)攻關倒裝互連、硅通孔互連、銅-銅互連等高密度互連技術，開發(fā)晶圓級芯片尺寸封裝、晶圓扇出型封裝、多種形式的2.5D/3D封裝以及異質封裝等先進封裝技術，推動先進封裝技術研發(fā)及產業(yè)化。

　　二、補齊配套環(huán)節(jié)短板，強化材料、工藝、裝備支撐

　　一是強化關鍵基礎材料支撐。圍繞氮化鋁、壓電陶瓷等敏感材料，發(fā)揮資源優(yōu)勢，支持骨干企業(yè)研發(fā)無鉛壓電陶瓷材料制備技術，實現高性能、高穩(wěn)定性、高可靠性以及可批量生產;研發(fā)用于氣體傳感器的超高靈敏度、超低功耗的石墨烯、氧化鋯材料;研發(fā)具有巨磁阻效應的納米級多層膜結構的磁材料。加大對重點基礎材料企業(yè)招商引資力度，提升關鍵基礎材料供應能力。

　　二是強化先進工藝技術支撐。依托龍頭骨干企業(yè)，推動智能傳感器在堆疊式差分MEMS芯片技術、多傳感器集成的超小尺寸封裝技術、超薄芯片的減薄及切割技術、超細間距倒裝鍵合技術、高密度SMT工藝、電磁屏蔽技術以及封裝天線工藝等技術領域開展突破，不斷提升具有創(chuàng)新性的研發(fā)能力。

　　三是強化傳感器智能裝備支撐。研發(fā)用于傳感器封裝、測試、視覺檢測等關鍵環(huán)節(jié)的專用設備，積極引進國內領先的裝備研發(fā)生產企業(yè)，增強設備的國產替代能力。

　　三、面向重點領域，開展應用示范

　　打造智能傳感器推廣示范工程。以應用需求為導向，推進智能傳感器在智能制造、智能消費、智能汽車、智慧醫(yī)療、高端家電等領域及工業(yè)生產流程中的應用及融合，通過智能傳感器進行數據分析、采集、利用，打造智能化生產線，以示范帶動應用，提升產業(yè)化水平。

　　四、提升公共服務能力，推動產業(yè)鏈協同發(fā)展

　　一是構建多層次協同創(chuàng)新體系。加強智能傳感器產業(yè)研究院建設，深化企業(yè)、高等院校及科研院所合作，加大關鍵共性技術、前沿引領技術、現代工程技術、顛覆性技術研發(fā)力度，搭建產學研用緊密結合的協同創(chuàng)新和成果轉化平臺。推動山東省智能傳感器生產企業(yè)、高校、科研院所等成立智能傳感器產業(yè)聯盟，推動協同創(chuàng)新。

　　二是強化公共服務平臺建設。鼓勵行業(yè)組織、產業(yè)園區(qū)、科研院所、龍頭企業(yè)等建設傳感器技術相關公共服務平臺，重點支持建設覆蓋智能傳感器設計、制造、封裝、測試、標準等公共服務平臺，形成資源共享、優(yōu)勢互補的公共支撐服務體系。

　　三是鼓勵產業(yè)鏈上下游協同發(fā)展。支持智能傳感器設計企業(yè)與制造、封測企業(yè)等建立緊密合作關系，加快新設計、新工藝導入，縮短產品化周期，促進產業(yè)鏈上下游企業(yè)資源共享和優(yōu)勢互補，探索和完善多方協作、互利共贏的新型商業(yè)模式，推動產業(yè)鏈協同升級和產業(yè)生態(tài)完善。

　　五、引進、培育龍頭骨干企業(yè)，為產業(yè)發(fā)展提供堅實支撐

　　一是加快培育創(chuàng)新型領軍企業(yè)。選擇一批優(yōu)勢明顯、成長性好的重點企業(yè)，以項目承接、服務采購、資本運作、戰(zhàn)略合作和品牌塑造等方式，加快培育成具有競爭力的創(chuàng)新型龍頭企業(yè)。支持龍頭企業(yè)在MEMS傳感器及微系統、聲學傳感器、能源傳感器、薄膜壓力傳感器、溫濕度傳感器等方面突破一批核心關鍵技術，引領產業(yè)創(chuàng)新發(fā)展。

　　二是分類培育創(chuàng)新型中小企業(yè)。針對智能傳感器材料裝備、設計、制造、封裝、測試、終端集成等細分領域企業(yè)，以聯盟合作、風險投資、規(guī)劃咨詢等形式，支持創(chuàng)新型企業(yè)孵化，降低企業(yè)研發(fā)和運行成本，形成融通發(fā)展的良好局面。

　　三是重點引進創(chuàng)新型優(yōu)勢企業(yè)。積極開展重大項目招商，重點引進一批擁有技術優(yōu)勢、品牌優(yōu)勢和市場優(yōu)勢的國內外知名物聯網創(chuàng)新型企業(yè)，通過戰(zhàn)略重組、技術轉讓和協作配套等方式與上下游企業(yè)建立緊密合作關系。鼓勵各市強化雙招雙引，針對智能傳感器產業(yè)鏈重點領域、關鍵節(jié)點，著重補齊補強，精準實施強鏈補鏈項目，推動智能傳感器產業(yè)突破發(fā)展。(作者：李英峰、林華健)